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 　　蔡司掃描電子顯微鏡EVO系列：EVO10/EVO15/EVO25

　　作為高性能的掃描電子顯微鏡，蔡司掃描電鏡EVO系列可為顯微鏡專家和新用戶帶來直觀且易操作的使用體驗(yàn)。憑借豐富的選件，EVO可根據(jù)您的需求量身定制，無論是在生命科學(xué)、材料科學(xué)，抑或是在日常工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域。

　　當(dāng)您配置多功能解決方案用于顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室時(shí)，不同規(guī)格的樣品室和樣品臺選件可滿足您的各類應(yīng)用需求。即使是對于用掃描電子顯微鏡難以處理的大型工業(yè)部件和樣品，它也同樣能夠滿足您的需求。

　　選用可提供更高電子束亮度以增強(qiáng)圖像分辨率和降低噪聲的成熟技術(shù)六硼化鑭(LaBg)電子槍，讓掃描電子顯微鏡在最大圖像質(zhì)量下發(fā)揮出色的檢測性能。

　　借助可變壓力操作模式，讓您體驗(yàn)EVO對非導(dǎo)電樣品出色的成像和分析。

　　安裝多種分析探測器的設(shè)計(jì)，EVO 可協(xié)助您完成要求嚴(yán)苛的顯微分析應(yīng)用。

　　EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起， 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無論是在生命科學(xué)， 材料科學(xué)， 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域，憑借廣泛的可選配置， EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。

　　顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案

　　不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

　　使用LaB6燈絲，能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

　　對不導(dǎo)電和無導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色

 　可以配置多種分析探測器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

便捷的可用性   　　SmartSEM Touch可以通過使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡單易學(xué)， 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本，甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

優(yōu)異的圖像質(zhì)量   　　EVO 擅長于對未經(jīng)處理和沒有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài)， 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí)，選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)   　　EVO可以作為半自動、多模式工作流程的一部分，通過重新定位感興趣區(qū)域，并以多種方式收集數(shù)據(jù)，形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn)，或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián)，進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

　　適合更多用戶操作：

　　對于經(jīng)驗(yàn)豐富的以及新手用戶操作都很方便

　　在實(shí)際的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中，SEM 的操作通常是顯微鏡專家的專屬領(lǐng)域。但是對于非專家級用戶來說，操作SEM就變得具有挑戰(zhàn)，比如學(xué)生、受訓(xùn)者或質(zhì)量工程師，他們往往也需要從 SEM獲取數(shù)據(jù)。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類用戶的需求，用戶界面選項(xiàng)既能滿足有經(jīng)驗(yàn)的顯微鏡專家也能滿足非專業(yè)用戶的操作需要。

 　　出色的數(shù)據(jù)質(zhì)量

　　使用六硼化鑭(LaB])電子槍獲取更豐富的數(shù)據(jù)

　　相比于傳統(tǒng)的發(fā)針型鎢燈絲，六硼化鑭陰極發(fā)射的電子可以滿足您對圖像質(zhì)量的額外需求。而熱輻射成像掃描電子顯微鏡是從傳統(tǒng)超熱發(fā)針型鎢燈絲中產(chǎn)生電子，所以使用六硼化鑭熱電子槍具有明顯優(yōu)勢。六硼化鑭晶體能夠從更小的點(diǎn)光源中發(fā)射出幾乎相同數(shù)量的電子，其結(jié)果是獲得了高達(dá)10倍的束流亮度。您可通過以下兩種方式來充分發(fā)揮這-優(yōu)勢:

　　■在電子探針大小(如分辨率)不變的情況下，使用更高的探針電流輕松完成圖像導(dǎo)航與優(yōu)化。

　　■在探針電流(信噪比)不變的情況下，通過更小的束流直徑提高圖像分辨率。

　　蔡司EVO應(yīng)用案例：制造與裝配工業(yè)

　　典型任務(wù)與應(yīng)用

　　■質(zhì)量分析1質(zhì)量控制

　　■失效分析/金相研究

　　■清潔度檢驗(yàn)

　　■對顆粒進(jìn)行形態(tài)和化學(xué)分析，以符合ISO 16232 和VDA 19 part 182的標(biāo)準(zhǔn)

　　■非金屬夾雜物分析

　　蔡司EVO的優(yōu)點(diǎn)

　　■通過三種不同規(guī)格的樣品室提高樣品靈活性;最大樣品重量可達(dá)5kg;樣品的高度和寬度分別可達(dá)210 mm和300 mm

　　■智能成像和自動化工作流程可以實(shí)現(xiàn)高效的用戶交互

　　■針對每類樣品優(yōu)化設(shè)置

　　■適用于非導(dǎo)電復(fù)合材料、纖維、聚合物和織物成像的可變壓力(VP) 技術(shù)

　　■使用C2D二次電子探測器完成可變壓力成像，以提高數(shù)據(jù)質(zhì)量

　　■用于高級形貌與化學(xué)分析的全集成式顆粒分析和識別解決方案(SmartPI)

　　蔡司EVO應(yīng)用案例：鋼和其它金屬

　　典型任務(wù)與應(yīng)用

　　■結(jié)構(gòu)的成像和分析，金屬樣品和夾雜物的化學(xué)特性與晶體結(jié)構(gòu)

　　■相、顆粒度、焊點(diǎn)和失效分析

　　蔡司EVO的優(yōu)點(diǎn)

　　使用EVO性能出眾的背散射電子(BSE)探測器獲取鐵素體鋼、奧氏體鋼、馬氏體鋼或二聯(lián)鋼和高級合金的清晰組分與晶體信息。

　　充分利用易操作的樣品室門和穩(wěn)固耐用的樣品臺來加裝拉力試驗(yàn)機(jī)、納米壓痕儀和加熱模塊，以實(shí)現(xiàn)金屬樣品的精細(xì)表征。

　　EVO出色的EDS幾何設(shè)計(jì)可用于完成高作業(yè)量、高精度的X射線分析。此外，其靈活的端口配置能為EBSD創(chuàng)建共面幾何結(jié)構(gòu),用以進(jìn)行晶界、相識別及應(yīng)變與滑移系統(tǒng)活動的微觀結(jié)構(gòu)表征。

 　　出色的光束穩(wěn)定性可用于在大面積樣品上進(jìn)行長時(shí)間EDS和EBSD采集，以確保始終如一地提供可靠且可重復(fù)的結(jié)果。

　　智能化導(dǎo)航和成像

　　提高您的樣品處理通量，提升工作效率和性能

　　蔡司導(dǎo)航相機(jī)

　　相機(jī)可安裝在樣品倉中，以監(jiān)測樣品與背散射探測器極靴之間的相對位置(樣品倉相機(jī));或安裝在真空樣品倉門上(導(dǎo)航相機(jī))，以概覽樣品載具上的樣品或零部件排列。該視圖可用于預(yù)設(shè)光學(xué)顯微鏡圖像標(biāo)識的感興趣區(qū)域，并在整個樣品檢測過程中實(shí)現(xiàn)輕松導(dǎo)航。

　　自動化智能成像

　　EVO可以在無人值守的情況下自動完成跨批次樣品的自動化圖像采集。蔡司自動化智能成像非常適合日常檢測應(yīng)用，用戶可以定義邊界區(qū)域、自動生成由所需觀察視野或放大倍率確定的感興趣區(qū)域，并開始自動圖像采集，從而提高您的樣品處理通量，提升工作效率和性能。

　　蔡司EVO應(yīng)用案例：半導(dǎo)體與電子元器件

　　典型任務(wù)與應(yīng)用

　　■電子元器件、集成電路、MEMS裝置和太陽能電池的光學(xué)檢測

　　■銅線表面和晶體結(jié)構(gòu)檢測

　　■金屬腐蝕檢測

　　■橫截面失效分析

　　■焊腳檢測

　　■電容器表面成像

　　蔡司EVO的優(yōu)點(diǎn)

　　BSE和C2D等一系列探測器，可在VP模式下對半導(dǎo)體材料進(jìn)行超高襯度形貌和組分成像，無充電假象。

　　可選的電子束減速系統(tǒng)能夠在最低加速電壓下提供超高分辨率，允許您觀察太陽能電池和集成電路的真實(shí)表面細(xì)節(jié)。

 　　EVO的靈活性使其可以運(yùn)用大量第三方的測量與分析模塊，包括EBIC和納米探針，用以進(jìn)行p-n結(jié)表征和集成電路失效分析。

　　蔡司EVO應(yīng)用案例:材料科學(xué)研究

　　典型任務(wù)與應(yīng)用

　　■在研究應(yīng)用中表征導(dǎo)電和非導(dǎo)電材料樣品

　　蔡司EVO的優(yōu)點(diǎn)

　　EVO可用于安裝一系列成像探測器。在裝備SE和BSE探測器、束流減速裝置及共面EDS和EBSD幾何結(jié)構(gòu)后，EVO將成為一-款靈活的材料分析用研究工具。

　　快速簡便地在高真空和可變壓力模式之間進(jìn)行切換，進(jìn)行導(dǎo)電和非導(dǎo)電樣品檢測。

 　　先進(jìn)的蔡司探測器技術(shù)，包括級聯(lián)電流探測器(C2D)和擴(kuò)展級聯(lián)電流探測器(C2DX),可在擴(kuò)展壓力模式和水蒸氣環(huán)境下操作，完成聚合物、塑料、纖維和復(fù)合物的出色成像。